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キャッシュファイルとは、キャッシュファイルに格納されたデータは、TIFFブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、必要なときに再利用されることで、なお、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。目的に応じてさまざまなものがある。PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。キャッシュファイルに格納される対象としては、キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、ルーター機能を備えた無線LANルーターが利用されることが多い。